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제목 2018년 sus spot hotchuck & Micro Stage
작성자 관리자 작성일 2018-08-02 조회 61




Hot chuck & Controller_S1_Spot

RT ~ 300 ℃, PID Control & RTD Sensor

X/y stage unit

Travel : 13mm, Resolution : 1um

Vacuum pump

Theta Micro Stage

360c Theta Micro stage

Holding Block Jig


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